8181801威尼斯检测站中频电源是广泛应用在太阳能电池制造和真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) 镀膜工艺上的特种电源。输出有单通道、双通道等方式,每通道功率可达15kW~60kW,可以输出多种电压波形 (如方波、阶梯波、双极性脉冲波),满足不同镀膜工艺要求。
● 全数字化控制;
● 电源转换效率高;
● 输入功率因数高,
● 谐波电流含量低;
● 极低电弧能量,超快电弧关闭和恢复输出;
● 可调多种输出波形;
● 通过输出信号变化轻松适配不同工艺。

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